شرکت تجهیزات اتوماسیون Hangzhou Qianrong ، با مسئولیت محدود
با تمرکز بر روی برنامه های مافوق صوت ، با حسن نیت به نفع مشتریان
| محل منبع: | چین |
|---|---|
| نام تجاری: | FUNSONIC |
| گواهی: | CE |
| شماره مدل: | FS620 |
| مقدار حداقل تعداد سفارش: | 1 واحد |
| قیمت: | Negotation |
| جزئیات بسته بندی: | بسته بندی شده توسط جعبه چوبی |
| شرایط پرداخت: | T/T، وسترن یونیون |
| قابلیت ارائه: | 1000 واحد در ماه |
| نام تولید: | دستگاه اسپری دقیق اولتراسونیک | فرکانس: | 60 کیلوهرتز |
|---|---|---|---|
| حداکثر توان: | 1 تا 15 ولت | حداکثر حجم پاشش مداوم: | 20-1200ml/h/pcs، مقیاس پذیر |
| عرض پاشش موثر: | 2-260mm/pcs، مقیاس پذیر | یکسانی اسپری: | ≥95% |
| ویسکوزیت محلول: | ≤30cps | ولتاژ ورودی: | 220 ولت ± 10٪ / 50-60 هرتز |
| برجسته کردن: | سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی,سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی مقاوم به نور,سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی نیمه هادی,photoresist ultrasonic lithography coating system,semiconductor ultrasonic lithography coating system |
||
سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی نیمه هادی مقاوم به نور
توضیحات:
اسپری ماوراء صوت یک فرآیند ساده، اقتصادی و قابل تولید برای پوشش photoresist در پردازش وافره های فوتولیتوگرافی است.سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی نیمه هادی FUNSONIC از تکنولوژی پیشرفته لایه بندی برای کنترل دقیق سرعت جریان استفاده می کند، سرعت پوشش و مقدار رسوب. قالب بندی اسپری با سرعت پایین اسپری را به عنوان یک الگوی دقیق و قابل کنترل برای جلوگیری از اسپری بیش از حد و تولید لایه های بسیار نازک و یکنواخت تعریف می کند.
سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی نیمه هادی FUNSONIC دارای مزایایی در جمع آوری پوشش های یکنواخت تر است.به ویژه در امتداد بالای دیوارهای جانبی شکاف های دارای نسبت ابعاد بالا و ساختارهای شکاف Vچرخش سانتریفیوژ نمی تواند پوشش های یکنواخت را در امتداد دیوارهای جانبی قرار دهد، بدون انباشت بیش از حد photoresist در پایین حفره.
پارامترها:
| نوع محصول |
دستگاه پوشش اسپری با دقت فوق صوتی نوع میز کار آزمایشگاهی FS310 |
دستگاه پوشش دقیق فوق صوتی هوشمند نوع میز کار FS620 |
| فرکانس کار نوزل اسپری | 20-200KHz | 20-200KHz (معمولاً از 60100110120K استفاده کنید) |
| قدرت نوزل | 1 تا 15 ولت | 1 تا 15 ولت |
| حداکثر حجم اسپری مداوم | 0.01 تا 50 میلی لیتر در دقیقه | 0.01 تا 50 میلی لیتر در دقیقه |
| عرض موثر اسپری | 2 تا 100 میلی متر | 2 تا 100 میلی متر |
| یکسانی اسپری | ≥95% | ≥95% |
| نرخ تبدیل راه حل | ≥95% | ≥95% |
| ضخامت فیلم خشک | 20nm-100μm | 20nm-100μm |
| ویسکوزیت محلول | ≤30 سی پی اس | ≤30 سی پی اس |
| محدوده دما | 1-60°C | 1-60°C |
| ذرات ذرات (ارزش متوسط) | 10-45μm (آب تقطیر شده) ، که با فرکانس نوزل تعیین می شود | 10-45μm (آب تقطیر شده) ، که با فرکانس نوزل تعیین می شود |
| فشار انحراف حداکثر | ≤0.10MPA | ≤0.15MPA |
| ولتاژ ورودی | 220 ولت±10٪/50-60 هرتز | 220 ولت±10٪/50-60 هرتز |
| حالت تمرین | X + Y دو محور کاملا خودکار، تنظیم دستی محور Z | XYZ سه محور، برنامه ریزی مستقل |
| حالت کنترل | کارت میکرو کامپیوتری، صفحه لمسی 7 اینچی + دکمه ها | سیستم کنترل اسپری FUNSONIC، کنترل PLC، صفحه لمسی 13.3 اینچی کامل رنگ |
| محتوای کنترل | سیب زدن فوق صوتی، تامین مایعات، گرمایش، پراکندگی فوق صوتی و سایر سیستم ها | سیب زدن فوق صوتی، تامین مایعات، گرمایش، پراکندگی فوق صوتی و سایر سیستم ها |
| روش تامین مایع | پمپ تزریق دقیق | پمپ تزریق دقیق |
| سیستم پراکندگی فوق صوتی (اختیاری) | 50 میلی لیتر، 40K، نمونه گیر درجه بیولوژیکی | 20 میلی لیتر یا 50 میلی لیتر، 40K، نمونه گیر درجه بیولوژیکی |
| قدرت نامی سیستم پراکندگی ماوراء صوت | 200W، 10A | 100 وات |
مزایا:
1پوشش یکنواخت فیلم از خطوط مختلف سطح.
2قادر به پوشش شکاف های نسبت ابعاد بالا با یکسانی عالی
3اسپری غیر مسدود کننده
4قادر به جمع آوری لایه های نازک تک میکروانی بسیار یکنواخت
5. فرآیند اسپری پختگی قابل تکرار
سیستم پوشش لیتوگرافی فوق صوتی نیمه هادی مقاوم به نور