پوشش خاص فیلم محافظ سیلیکونی قبل از برش وافرهای سیلیکونی

پوشش خاص فیلم محافظ سیلیکونی قبل از برش وافرهای سیلیکونی

توضیحات:

پوشش خاص فیلم محافظ ضد سرقت قبل از برش وافرهای سیلیکون ثابت شده است که یک روش قابل اعتماد و قابل تکرار است.و روش کارآمد برای اعمال مواد شیمیایی مختلف به سیلیکون قبل از برشمواد شیمیایی رایج شامل Z-Coat، PMMA و سایر مواد شیمیایی آسان قابل برداشتن است.سیستم نوزل FUNSONIC می تواند برای پاسخگویی به نیازهای خاص پوشش و چالش های مشتریان برای فیلم های محافظ قبل از برش وافره سیلیکون سفارشی شود.
پوشش خاص فیلم محافظ سیلیکونی قبل از برش وافرهای سیلیکونی می تواند با کنترل ضخامت از زیر میکروونی تا بیش از 100 میکروونی به هر شکل یا اندازه ای اعمال شود.سیستم پوشش یک جایگزین مناسب برای سایر فن آوری های پوشش مانند اسپری چرخشی و سنتی است.

پارامترها:

مزایا:

نوزل های ماوراء صوت دارای کاربردهای مهم در پردازش فوتولیتوگرافی هستند.تولید کنندگان نیمه هادی از تکنولوژی اسپری ماوراء صوت برای اسپری توسعه دهنده photoresist بر روی زیربناهای تراشه سیلیکون و گالیوم آرسنید استفاده می کنند، که یک ماده شیمیایی است که می تواند مدارهای تصویربرداری مرحله ای نوری را نشان دهد. فرآیند اسپری شامل قرار دادن نوزل بالای تراشه است.و سپس کنترل نوزل فوق صوت از طریق سه محور XYZ و موتور سرو به طور مساوی توزیع پوششاز آنجا که اسپری نوزل فوق صوتی ملایم و مداوم است، می تواند فعالیت شیمیایی را بهبود بخشد، کارایی توسعه را بهبود بخشد و بازگشت و زباله مواد را کاهش دهد.داده ها نشان می دهد که فن آوری اسپری ماوراء صوت می تواند تا 70٪ مواد را ذخیره کند و کنترل ابعاد بحرانی را بهبود بخشد.
در مقایسه با پوشش اسپین سنتی، مزیت نوزل های ماوراء صوت این است که می توانند مواد را به طور مساوی توزیع کنند و وابستگی توزیع مایع به تنش سطحی را کاهش دهند.پوشش اسپین سنتی شامل قرار دادن مواد به شکل چاله ها یا جریان ها بر روی بخشی از تراشه است، و سپس آنها را به سطح از طریق نیروی گریز از مرکز منتشر می کند.این فرآیند نیاز به کنترل دقیق دمای و سرعت تبخیر حلال برای اطمینان از یکپارچگی و یکسانی پوشش دارداز سوی دیگر، نوزل های فوق صوتی، مواد را روی سطح کل تراشه به صورت یک فیلم نازک و پیوسته به صورت اتم تبدیل می کنند.نیازی به در نظر گرفتن تبخیر حلال و نیروهای سطحی نیست.، و هیچ اسپوتینگ یا پاشیدن پشت وجود نخواهد داشت.

پوشش خاص فیلم محافظ سیلیکونی قبل از برش وافرهای سیلیکونی