60kHz سیستم پوشش اسپری ماوراء الصوتی گردشی با دمای بالا

سیستم پوشش اسپری اولتراسونیک ورتکس با دمای بالا 60 کیلوهرتز

توضیحات:

سیستم پوشش اسپری اولتراسونیک گردابی با دمای بالا 60 کیلوهرتز ما یک نازل اتمیزه کننده اولتراسونیک گردابی 60 کیلوهرتز را با ساختار خنک کننده داخلی یکپارچه می کند. مبدل پیزوالکتریک ارتعاش با فرکانس بالا تولید می کند تا پیش سازهای مایع را به ریز قطرات ریز تبدیل کند. گاز شکل دهنده گردابی با سرعت پایین، میدان پاشش مخروطی شکل پایداری را بدون تاثیر قوی بر روی لایه ها تشکیل می دهد.

مجموعه خنک کننده نازل گرما را از مرحله گرمایش با دمای بالا جدا می کند، که می تواند تا 500 تا 600 درجه سانتیگراد برسد. این طراحی خشک کردن و تجزیه حرارتی محلول های پیش ساز را مستقیماً روی سطح بستر امکان پذیر می کند.

در مقایسه با نازل های اسپری اولتراسونیک متمرکز معمولی، نوع گردابی پهنای اسپری موثرتر و یکنواختی پوشش برتر را ارائه می دهد. غبار نرم تا حد زیادی پاشش بیش از حد را کاهش می دهد و استفاده از مواد را تا 90 درصد بهبود می بخشد و باعث صرفه جویی در مواد اولیه فلزات گرانبها می شود. عملکرد خود تمیز شونده اولتراسونیک گرفتگی نازل را برای سوسپانسیون ها، نمک ها و محلول های نمک به حداقل می رساند.

این سیستم مجهز به ماژول تغذیه مایع دقیق، واحد کنترل گاز مستقل و پلت فرم حرکت سروو XYZ، از مسیرهای پوشش قابل برنامه ریزی پشتیبانی می کند. این می تواند لایه های نازکی از ده ها نانومتر تا میکرومتر را رسوب دهد.

کاربردهای معمولی شامل لایه‌های کاتالیزور پیل سوختی و پوشش PEM، سلول‌های خورشیدی پروسکایت، فیلم‌های اکسید فلزی و TCO، پوشش‌های عملکردی MEMS و ویفر، ساخت فیلم‌های نانو حسگر است.

پارامترها:

مزایا:

1. پوشش یکنواخت با اسپری گردابی، پهنای اسپری موثر گسترده تر در یک پاس
2. طراحی سازگار با دمای بالا. نازل با ساختار خنک کننده برای پشتیبانی از فرآیند تجزیه حرارتی بستر
3. استفاده از مواد بالا بیش از 90٪، صرفه جویی در راه حل های پرهزینه پیش ساز
4. خود تمیز شوندگی اولتراسونیک، خطر کم گرفتگی نازل، سازگار با سوسپانسیون ها، سل ها و پیش سازهای نمک
5. غبار نرم با ضربه کم، بدون آسیب به بسترهای متخلخل یا لایه های نازک از پیش ساخته شده
6. کنترل دقیق ضخامت فیلم. رسوب دهی چند لایه برای تولید لایه های نازک از مقیاس نانومتر تا میکرومتر
7. گاز شکل دهنده گرداب با فشار کم، حداقل برگشت قطرات و اسپری کم

سیستم پوشش اسپری اولتراسونیک ورتکس با دمای بالا 60 کیلوهرتز